Depois que a luz entra no divisor de feixe, a luz comum pode ser dividida nos três tipos a seguir, de acordo com o comprimento de onda:
UV próximo (UV próximo): 200-380 nm
Vácuo UV< vuv=""> : 10-200 nm
Ultravioleta extremo, ultravioleta extremo (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 nm
